List of Wafers/ Mask plates

MaterialSizeP/NOrientationResistivity (Ω-cm)Surface
1Si2N<100>0.01--0.1SSP
2Si2N<100>0.1--0.2SSP
3Glass2NONE<NONE>NONEDSP
4Si2N<111>0.01SSP
5Si2N<100>0.01--0.02SSP
6Si2N<100>1--5SSP
7Si2N<100>3--5SSP
8Si2N<100>4--7SSP
9Si2N<100>4--7DSP
10Si2N<110>4--7SSP
11Si2N<100>1--10SSP
12Si2N<100>40--100DSP
13Si2N<111>3345--3404DSP
14Si2N<100><0.005SSP
15Si2N<100>10--30SSP
16Si2N<100>0.05--4DSP
17Si2N<100>0.01SSP
18Si3N<100>3--5SSP
19Si2P<100>0.01--0.1SSP
20Si2P<100>0.1--0.2SSP
21Si2P<100>0.1--0.6SSP
22Si2P<100>0.01--0.02SSP
23Si2P<100>0.001--0.002SSP
24Si2P<100>0.001--0.004SSP
25Si2P<100>0.001--0.005SSP
26Si2P<100>0.2--0.5SSP
27Si2P<100>0.0005--0.001SSP
28Si2P<100>0.005SSP
29Si2P<100><0.005SSP
30Si2P<110>1--5DSP
31Si2P<100>1--10SSP
32Si2P<111>4--5SSP
33Si2P<100>4--7DSP
34Si2P<100>4--7SSP
35Si2P<110>4--7DSP
36Si2P<100>10--30SSP
37Si2P<100>40--100DSP
38Si2P<110>150DSP
39Si2P<111>0.1--0.6SSP
40Si2P<100>1--5SSP
41Si2P<100>>1000SSP
42Si2P<111>>1000SSP
43Si4P<100>0.04--0.05SSP
44Si4P<100>0.02--0.04SSP
45Si4P<100>1--5SSP
46Si4P<100>4--7SSP
47Si4P<100>>1000SSP
48Si4P<100>1--10DSP
49Si4P<100>0.01--0.02SSP
50Si4P<100>0.04--0.09SSP
51Si4P<100>0.1--0.2SSP
52Si4P<100>1--10SSP(P/BORON)
53Si4N<111>6--10SSP
54Si4N<100>0.5--1.5SSP
55Si4N<100>1--5SSP
56Si4N<100>1--10SSP
57Si8NONE<100>1--80SSP
58Si2N<100>0.1--0.02SSP
59Glass2NONE<NONE>C-ShapedDSP
60Si2P<100>0.5--4DSP
61Si2N<100>>900DSP
62Si2P<100>0.0005--0.0001SSP
63Si2P<100>>100DSP
64Si2P<111>4--6SSP(DOPANT)
65Si4N<100>0.8--1.2SSP
66Si4N<100>10000--99999SSP
67Si4P<100>10000--99999SSP
68Si2P<100>>30KDSP
69Si4N<111>>30KSSP
70Si4P<111>>30KSSP
71Si4P<100>1--5SSP(P/BORON)
72Si4P<100><0.01SSP
73Si2P<110>4--7SSP
74Si2N<110>>1000SSP
75Si4P<111>0.001--0.005SSP
76Si2P<100>0.2--0.4SSP
77Si4N<100>0.001--0.005SSP
78Si2N<111>>1000SSP
79Si2N<100>>1000SSP
80Si4P<100>0.001--0.005SSP
81Si4N<111>0.001--0.005SSP
82Si4P<100>0.001--0.1SSP
83Si8P<100>1--80SSP
84Quartz4NONE<NONE>C-ShapedDSP
85Ge2N<100>1--10SSP
86Si3P<111>0.001--0.004DSP
87Ge2P<100>6--8.5SSP
88Ge2P<100>1--10SSP
89Si4P<111>1--10SSP
90Si4P<111>10--20SSP
91Si3P<100>1--10SSP
92Si3P<111>1--10SSP
93Si2N<100>10--20SSP
94Mask Plate3Iron Oxide<NONE>NONENONE
95Mask Plate5Iron Oxide<NONE>NONENONE
96Si2N<100>40--100SSP
97Si2N<100>>500SSP
98Si2N<100><0.01SSP
99Si4N<100><0.005SSP
100Si2P<100>0.5--4SSP
101Glass4NONE<NONE>NONENONE
102Si4P<100><0.005SSP
103Si2N<100>0.001--0.005SSP
104Si4N<100>4--7SSP
105Si4P<100>4--7DSP
106Quartz2NONE<NONE>NONEDSP
107Si2N<100>0.001--0.002SSP

***Non-CEN Project specific wafers

MaterialSizeP/NOrientation (Ω-cm)ResistivitySurfacePI
1Ge2''P<100>1 - 10SSPS.Lodha
2Ge2''P<110>1 - 10SSPS.Lodha
3Ge2''P<111>1 - 10SSPS.Lodha
4Ge2''P<100>0.01 - 0.1SSPS.Lodha
5Ge2''P<111>0.02 - 0.1SSPS.Lodha
6Ge2''N<100>1 - 10SSPS.Lodha
7Ge2''N<100>0.01 - 0.1SSPS.Lodha
8Ge2''N<100>0.001 - 0.01SSPS.Lodha

Information about thickness of Wafers/Mask plates